sscooling ThermoCube II 200-500

熱電偶架1201 

用于等離子蝕刻和其他半應用的機架式冷水機，冷卻能力為1200瓦 

±0.05°C溫度穩定性/可重復性 

工作范圍為-10°C至80°C 

專為快速響應而設計 

減少晶圓之間的差異，消除第一晶圓效應 

比基于壓縮機的冷水機組節能高達80% 

采用熱電技術，可靠性高，維護成本低 

設計簡單——只有2個運動部件 

消除氟利昂和其他有害制冷劑，以符合新的環境法規 

使用更少的設施用水和昂貴的冷卻劑，如Fluorinert或Galden 

緊湊的尺寸：1臺壓縮機冷卻器的空間內最多可容納6個TR1201系統 

AMAT、LAM、TEL和Hitachi系統可用的通信接口 

通用電源-插上電源，即可在世界任何地方使用 

等離子蝕刻、等離子灰、CMP和其他工藝的解決方案 

四種基本型號，制冷能力從200瓦到500瓦 

±0.05°C溫度穩定性/可重復性 

采用高度可靠的無制冷劑熱電技術。 

快速響應負載變化 

低噪音、低振動 

設計用于滿足您的特定需求 

6種泵選擇：隔膜泵、離心泵和齒輪泵 

9個合適的選擇 

提供鋁（標準）、銅或不銹鋼冷板 

5種不同的通信方式：RS232、RS485、以太網或TTL 

其他14種選擇包括：擴展溫度范圍、集成流量計、泄漏檢測器、音頻報警、替代流體和不銹鋼管道 

變速風扇和自動重啟現在是所有型號的標配 

緊湊型尺寸：11英寸x13英寸x13" 

節能，僅在需要保持溫度時使用電力 

通用電源-插上電源，即可在世界任何地方使用 

除了許多標準配置選項之外，還可以輕松定制