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MDC的熱電偶測(cè)量管在0.1至1000微米汞柱(0.13至133帕)的壓力范圍內(nèi)提供快速、可靠和遠(yuǎn)程的真空測(cè)量。由于特定的加熱器電流要求和熱電偶輸出規(guī)格,這些管子必須與兼容的儀器正確匹配,非常適合在惡劣的操作條件下進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè)。請(qǐng)務(wù)必查閱儀器制造商的文檔以獲取正確的配置。
雖然有些管子有八針連接器,但只有四針是電活動(dòng)的——有關(guān)正確的安裝,請(qǐng)參閱詳細(xì)的引腳圖。
MDC提供兩個(gè)系列以滿足特定的應(yīng)用需求:
特高壓系列:采用全焊接不銹鋼玻璃絕緣電連接器,與Conflat®迷你法蘭或Cajon®VCR配件兼容。可烘烤至150°C(302°F)。
HV系列:采用鍍鎳鋼外殼和閥桿設(shè)計(jì),增強(qiáng)耐腐蝕性,可烘烤至150°C(302°F)。
主要特點(diǎn)
真空測(cè)量范圍:0.1至1000微米汞柱(0.13至133帕)
提供兩種型號(hào):適用于不同真空環(huán)境的特高壓和高壓系列
連接器兼容性:配備Conflat迷你法蘭、VCR®接頭,可與其他品牌互換
堅(jiān)固的性能:在惡劣和高溫條件下可靠運(yùn)行
玻璃絕緣連接:用于電氣可靠性和耐熱性
行業(yè)應(yīng)用
MDC熱電偶測(cè)量管廣泛應(yīng)用于真空過(guò)程控制、薄膜沉積系統(tǒng)、工業(yè)真空爐、半導(dǎo)體設(shè)備和科研實(shí)驗(yàn)室。它們的耐用性和配置靈活性使其在高真空(HV)和超高真空(UHV)環(huán)境中保持精確的真空水平至關(guān)重要。MDC的熱電偶測(cè)量管用于測(cè)量0.1至1000微米汞柱(0.13至133帕)的真空度,具有連續(xù)和遠(yuǎn)程讀出功能。每根管子都以規(guī)定的加熱器電流運(yùn)行,并且必須符合連接的儀器規(guī)格。一些型號(hào)包括八個(gè)引腳,其中四個(gè)有源電引腳用于操作。
特高壓系列管使用全焊接不銹鋼外殼,帶有玻璃絕緣電氣連接,支持150°C(302°F)烘烤。HV系列管使用鍍鎳鋼外殼,也可烘烤至150°C(302°F)。
行業(yè)應(yīng)用
這些計(jì)量管用于半導(dǎo)體加工、薄膜沉積、研究實(shí)驗(yàn)室、真空爐、泄漏檢測(cè)系統(tǒng)和工業(yè)真空監(jiān)測(cè)的真空系統(tǒng)。它們與特高壓環(huán)境和遠(yuǎn)程測(cè)量的兼容性使其適用于在操作和熱處理過(guò)程中需要控制壓力測(cè)量的系統(tǒng)。
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