Gaertner 橢偏儀GaertnerLSE-MS 

Gaertner斯托克斯微光斑橢偏儀LSE-MS具有15微米的測量激光束直徑，手動XY微米定位臺和用于在您的PC上查看測量區(qū)域的相機?？梢詼y量小至15 X 45微米的區(qū)域。該裝置的簡單但堅固的設計提供了易于使用和即時測量，是過于復雜的橢偏儀的受歡迎替代品。Gaertner LSE-MS橢偏儀采用先進的StokesMeter™技術（曾獲得Photonics Spectra和R&D 100最佳新產品獎，無移動部件和調制器，能夠快速準確地確定6328?激光測量光束在70°入射角下的完整偏振狀態(tài)。激光光源具有充足的光強度，提高了對吸收和粗糙散射薄膜的測量精度。激光光源具有光譜精確、穩(wěn)定和持久的優(yōu)點。其使用允許在光學、探測器和其他組件中進行最佳儀器設計，從而實現(xiàn)高精度的測量。該設計節(jié)省空間，占地面積小，但可以容納寬達300mm的大樣品。樣品臺包括手動傾斜和臺高度調整，這通過計算機上的校準屏幕進行設置。

Gaertner斯托克斯橢偏儀GaertnerLSE-MS功能

 ，無活動部件的高級StokesMeter™測量頭。

測量提供全偏振態(tài)，提高準確性。

使用光譜精確的激光橢圓儀進行準確、穩(wěn)定的測量。

用于薄膜測量的最快儀器。

對于相似的晶圓，免傾斜、免聚焦、免人工操作。

簡單，緊湊的桌面儀器 - 價格具有競爭力。

Gaertner LSE-MS 可以配備以下選項：

可選線性旋轉臺 LRS

6 英寸線性和 360 度旋轉臺替代標準臺

可選 WIN 10 筆記本電腦

預裝驅動程序和軟件。

可選斯托克斯校準套件 L118-KIT

使用 4 塊 Gaertner 可追溯晶圓及玻璃重新校準任何斯托克斯橢圓儀 (L118G-KIT) 或

4 塊 NIST 可追溯晶圓及玻璃 (L118N-KIT)。大多數(shù)用戶不需要橢圓儀重新校準。適用于具有極其嚴格公差和法規(guī)合規(guī)要求 的半導體制造商。

Gaertner斯托克斯橢圓儀 LSE-MS 規(guī)格

校準： 使用計算機校準屏幕手動調整傾斜和臺面高度。

相機： 在您的電腦上顯示測量區(qū)域

入射角： 70°

測量方法： 高級 StokesMeter™ 使用無移動部件和無調制器的四個固定硅探測器來確定完整的測量光束偏振

，因此測量穩(wěn)定且準確。

測量時間： 實際上瞬間

測量激光： 6328? HeNe 氣體激光器，測量光束直徑為 1mm

準直激光： 670nm 激光二極管

樣品（晶圓）尺寸： 寬至 300mm X 無限長度

階段: XY 手動定位臺，帶傾斜和臺高度調整。

軟件: 包含 Windows™ LGEMP 4 層程序。

所需計算機: Windows™ 臺式機或筆記本電腦，帶 USB 2/3 端口（不包括）

膜厚范圍: 在基底上或在 1, 2, 3, 或 4 個已知的子層上，0 - 60,000 阿斯特姆。

精度和重復性: 在整個測量范圍內優(yōu)于亞阿斯特姆。

折射率: 在整個測量范圍內 ±.0005。

電源: 100V-240V, 50-60Hz., 1 A

尺寸: 高度：16.5 寬度：27.5 深度：16 英寸

凈重： 45 磅。運輸重量：65 磅。

CDRH 合規(guī)性： 所有由 Gaertner 供應的激光橢圓儀符合 CDRH 要求 21CFR 1040 的 Class

II 激光產品，其發(fā)射功率小于 1 mW 或 Class IIIb 小于 5 mW 的低功率輻射。與

任何明亮的光源（如太陽或弧燈）一樣，操作員不應直接注視激光

光束或其在高反射表面的反射。

CE 合規(guī)性： 斯托克斯橢圓儀符合歐洲安全指令，并帶有CE標志。

Gaertner 橢偏儀GaertnerLSE-MS