oainet Model 30 UV 光源 儀器

30型紫外線光源OAI 30型紫外線源（帶可選支架）由獨立光源、恒定強度控制器和快門定時器組成。

30型紫外線光源效率很高，可用于各種應用。光由橢圓反射器收集，并使用OAI專有的光學積分器聚焦，該積分器在曝光平面上產生高度均勻的紫外光束。使用合適的燈（包括在系統中），該紫外光源可提供高達24平方英寸的各種光束尺寸，輸出光譜范圍為220nm至450nm。輸出功率范圍為200W至5kW。所有OAI紫外光源都配備了快換濾光片組件，使用戶能夠定制輸出光譜。

雙通道反饋電路控制光源強度，并在燈的壽命期間保持恒定。快門定時器（0.1-0.999秒）激活光源快門。還提供了一個用于控制其他快門速度的界面。

這款UV LED光源由OAI經過驗證的光刻專家設計和制造。光源具有許多獨特的優點，其中最重要的是在超長壽命內保持一致的強度。該光源具有高能效，無需維護或更換燈具，且不含汞。

OAI UV LED光源的光束尺寸在4英寸至12英寸之間，光束均勻性優于±4%。它具有棱鏡陣列和光管，具有優異的均勻性。準直角小于2度。該光源能夠具有可變強度，波長為365nm、405nm或其組合。其他功能包括劑量控制和定時暴露。易于使用，OAI光源使用觸摸屏界面并具有USB遠程接口。

UV光源提供多種選擇，包括重型支架、用于光刻印刷的工具模塊以及單波長或多波長版本。該系統可以集成到任何OAI光刻系統中。

oainet Model 30 UV 光源 儀器